半導体やMEMSのパッケージ（実装）市場でニーズの高い、幅広い熱膨張係数（CTE：Coefficient of Thermal Expansion） のラインアップを特徴とした新しいガラス基板です。カバーガラス、また工程のサポート基板として最適な各種CTE、平坦?平滑性が特徴です。形状はφ300mm等のウェハ、また500mm角等のパネルサイズに対応しております。

従来にない、熱膨張係数（CTE：Coefficient of Thermal Expansion）のラインアップ

近年、半導体やMEMSのパッケージ（実装）市場では、従来の個片によるパッケージ化に代わって、ウェハ状態でのパッケージ化技術（ウェハレベルパッケージ）が普及し、イメージセンサ等の光学デバイス向けカバー、また半導体の実装工程におけるサポート基板としてガラスのニーズが高まっています。特にφ300mm等の大口径の場合、ガラスと、シリコンや半導体実装部材との熱膨張係数（CTE：Coefficient of Thermal Expansion）のアンマッチによるお客様工程におけるウェハ反り、実使用環境でのデバイス反りが、それぞれ生産性、信頼性低下の要因となります。

AGCは、ガラス組成設計力と生産技術により、従来にない幅広い熱膨張係数（CTE：Coefficient of Thermal Expansion）のガラスをラインアップすることにより、これらの問題解決に貢献する、高品位で使いやすいガラスウエハ、ガラスパネルを提供します。代表的なラインアップとして、シリコンCTE完全マッチング無アルカリガラス、高膨張無アルカリガラス、超高膨張ガラスがあります。

各種サイズ?板厚対応、高平坦?高平滑性

φ300mmや500mm角相当のパネルサイズ、0.4mmt等の薄板から1.5mmt等の厚板までの対応が可能です。 また、板厚偏差（1um～）、表面粗さ（0.5nm～）等の高平坦?高平滑要求にお応えします。